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真空镀膜设备这些知识,你都了解吗?


发布时间:2019-05-22 11:18:06

     关于真空镀膜设备大(da)家都了解多少(shao)呢?今天小(xiao)编着(zhe)重就真空镀膜设备的使用步骤(zhou)、适用范围以及(ji)维护和保养方法等做以下介绍(shao),希望对小(xiao)伙伴们(men)有用!

看(kan)点一

什么(me)是真(zhen)空镀膜设备?

真空镀(du)膜(mo)设备(bei)主要指一(yi)类需要在较高真空度下进行的镀(du)膜(mo),具体包括很(hen)多种类,包括真空离子蒸(zheng)发,磁控(kong)溅射(she),MBE分(fen)子束外延,PLD激(ji)光溅射(she)沉积等很(hen)多种。主要思路是分(fen)成蒸(zheng)发和溅射(she)两种。

需要(yao)镀(du)(du)膜的(de)被成(cheng)为(wei)基片,镀(du)(du)的(de)材(cai)(cai)料被成(cheng)为(wei)靶材(cai)(cai)。基片与靶材(cai)(cai)同在真空(kong)腔中。

蒸发镀(du)(du)(du)膜(mo)(mo)一般是(shi)加热靶材使(shi)表(biao)面(mian)组(zu)分以原(yuan)子(zi)(zi)(zi)(zi)团或离子(zi)(zi)(zi)(zi)形式(shi)被蒸发出来,并(bing)且沉降(jiang)在基(ji)片(pian)表(biao)面(mian),通过成膜(mo)(mo)过程(散点-岛(dao)状结构-迷走结构-层状生(sheng)长)形成薄膜(mo)(mo)。对于溅(jian)射类镀(du)(du)(du)膜(mo)(mo),可以简单(dan)理解为(wei)利用电子(zi)(zi)(zi)(zi)或高能(neng)激光轰击靶材,并(bing)使(shi)表(biao)面(mian)组(zu)分以原(yuan)子(zi)(zi)(zi)(zi)团或离子(zi)(zi)(zi)(zi)形式(shi)被溅(jian)射出来,并(bing)且最终(zhong)沉积在基(ji)片(pian)表(biao)面(mian),经历成膜(mo)(mo)过蒸发镀(du)(du)(du)膜(mo)(mo)设(she)(she)备(bei)(bei)+所(suo)镀(du)(du)(du)产品图蒸发镀(du)(du)(du)膜(mo)(mo)设(she)(she)备(bei)(bei)+所(suo)镀(du)(du)(du)产品图程,最终(zhong)形成薄膜(mo)(mo)。

五(wu)金镀膜价格(ge)

看点(dian)二

真空镀膜设备使用步骤

1电控(kong)柜的操作(zuo)

1)开水泵、气源

2)开总电源

3)开维持泵(beng)、真(zhen)空(kong)计电源(yuan),真(zhen)空(kong)计档位(wei)置(zhi)V1位(wei)置(zhi),等待其值(zhi)小于(yu)10后,再进入下一步操(cao)作。约需5分钟(zhong)。

4)开机械泵、予(yu)抽(chou),开涡轮分子泵电(dian)源、启(qi)动,真空计开关换到V2位(wei)置,抽(chou)到小于2为止,约需20分钟(zhong)。

5)观察涡轮分(fen)子(zi)(zi)泵读数(shu)到(dao)达(da)250以后,关予抽(chou),开(kai)前机和高阀继续抽(chou)真(zhen)空(kong),抽(chou)真(zhen)空(kong)到(dao)达(da)一定程度后才能(neng)开(kai)右边的高真(zhen)空(kong)表头,观察真(zhen)空(kong)度。真(zhen)空(kong)到(dao)达(da)2×10-3以后才能(neng)开(kai)电子(zi)(zi)枪电源。

2DEF-6B电子枪电源柜的操作

1)打开总(zong)电源

2)同(tong)时开(kai)(kai)电(dian)(dian)(dian)子(zi)枪(qiang)控制Ⅰ和电(dian)(dian)(dian)子(zi)枪(qiang)控制Ⅱ电(dian)(dian)(dian)源:按电(dian)(dian)(dian)子(zi)枪(qiang)控制Ⅰ电(dian)(dian)(dian)源、延(yan)(yan)时开(kai)(kai)关,延(yan)(yan)时、电(dian)(dian)(dian)源及保护(hu)灯(deng)亮,三(san)分钟后延(yan)(yan)时及保护(hu)灯(deng)灭,若后门(men)未关好或水流继电(dian)(dian)(dian)器有故障,保护(hu)灯(deng)会(hui)常亮。

3)开高压,高压会达到10KV以上,调节束流(liu)可到200mA左(zuo)右,帘栅为20V/100mA,灯丝电(dian)流(liu)1.2A,偏(pian)转(zhuan)电(dian)流(liu)在1~1.7之(zhi)间摆(bai)动(dong)。

3关机顺序

1)关(guan)高真空表头、关(guan)分(fen)子泵。

2)待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟(zhong)。

3)到50以下时,再关(guan)维持泵。

看(kan)点三(san)

真空镀膜设备适用范围

1、建筑(zhu)五金:卫浴五金(如水(shui)龙头)、门(men)锁、门(men)拉手、卫浴、门(men)锁、五金合叶、家具等。

2、制表业:可用于表壳、表带的镀膜(mo)、水晶制品。

3、其它小(xiao)五金:皮革五金、不锈钢(gang)餐(can)具、眼镜框、刀具、模具等。

4、大型(xing)工件:汽车轮(lun)毂、不锈(xiu)钢板(ban)、招牌、雕塑等。

5、不(bu)锈(xiu)钢管和板(各种类型表面)

6、家(jia)具、灯具、宾(bin)馆用具

7、锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不(bu)锈钢餐具、器(qi)血等五金制品镀超硬(ying)装饰膜。

8、眼镜、首饰(shi)等装饰(shi)品镀超耐磨装饰(shi)(金银)纳(na)(na)米(mi)膜和纳(na)(na)米(mi)膜和纳(na)(na)米(mi)叠层膜。

装饰镀膜批发

看点四

维护(hu)和保养方法

1、真空镀(du)膜设备每(mei)完成200个镀(du)膜程序以上,应清洁(jie)工(gong)作室一次。

方法是(shi):用(yong)烧(shao)碱(NaOH)饱和(he)溶(rong)液反(fan)复擦洗(xi)真(zhen)空(kong)室内壁,(注意人体皮肤不可以(yi)直接接触烧(shao)碱溶(rong)液,以(yi)免灼伤(shang))目的(de)(de)是(shi)使镀(du)上(shang)去的(de)(de)膜料铝(AL)与NaOH发生反(fan)应,反(fan)应后膜层(ceng)脱落,并释放出氢气。再用(yong)清(qing)水清(qing)洗(xi)真(zhen)空(kong)室和(he)用(yong)布(bu)沾(zhan)汽油清(qing)洗(xi)精(jing)抽阀(fa)内的(de)(de)污垢。

2、当(dang)粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(yue)(雨(yu)季减(jian)半),需更(geng)换(huan)新油。

方法是:拧(ning)开(kai)放(fang)油(you)(you)(you)(you)螺(luo)栓(shuan),放(fang)掉(diao)旧(jiu)油(you)(you)(you)(you),再(zai)将泵(beng)(beng)启动数秒,使泵(beng)(beng)内的旧(jiu)油(you)(you)(you)(you)完全排(pai)放(fang)出来。拧(ning)回放(fang)油(you)(you)(you)(you)螺(luo)栓(shuan),加(jia)入(ru)新油(you)(you)(you)(you)至额定(ding)量(油(you)(you)(you)(you)视镜观(guan)察)。连续使用半年以上(shang),换油(you)(you)(you)(you)时应将油(you)(you)(you)(you)盖打开(kai),用布擦干净箱内污垢。

3、扩(kuo)(kuo)散(san)泵(beng)(beng)(beng)(beng)连续使用(yong)6个月以(yi)(yi)上,抽速(su)明显变(bian)慢,或操作失当,充入(ru)大气(qi)(qi),拆(chai)去联(lian)(lian)结水管(guan),卸(xie)下电炉(lu)盘(pan),将一级(ji)喷嘴拧出,先用(yong)汽油(you)(you)将泵(beng)(beng)(beng)(beng)腔及泵(beng)(beng)(beng)(beng)胆(dan)清洗(xi)一遍,再用(yong)洗(xi)衣粉(fen)兑水清洗(xi)一遍,然后用(yong)清水彻底清洗(xi)干净,待水份(fen)挥发(fa)干以(yi)(yi)后,装(zhuang)(zhuang)好泵(beng)(beng)(beng)(beng)胆(dan),加入(ru)新(xin)扩(kuo)(kuo)散(san)泵(beng)(beng)(beng)(beng)油(you)(you),并装(zhuang)(zhuang)回(hui)机(ji)体(ti),接好水管(guan),装(zhuang)(zhuang)好电炉(lu)盘(pan),便(bian)可(ke)以(yi)(yi)重新(xin)开机(ji)。在重新(xin)开机(ji)前,要注意检漏工作。方法(fa)是:启动维持泵(beng)(beng)(beng)(beng),关好大门,数分钟(zhong)后,观察(cha)扩(kuo)(kuo)散(san)泵(beng)(beng)(beng)(beng)部分真空度是否(fou)(fou)达到6X10帕,否(fou)(fou)则要进行检漏。检查联(lian)(lian)接处是否(fou)(fou)装(zhuang)(zhuang)密封胶圈(quan),或压坏密封圈(quan)。排除漏气(qi)(qi)隐患后方可(ke)加热,否(fou)(fou)则扩(kuo)(kuo)散(san)泵(beng)(beng)(beng)(beng)油(you)(you)会烧环,无法(fa)进入(ru)工作状(zhuang)态。

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